由于各个行业中产生的VOCs废气的性质千差万别，而吸附法对废气中的粉尘、气溶胶和一些引起吸附剂中毒的物质要求严格，因此废气的预处理系统对吸附设备影响巨大。

在工业VOCs废气中，通常含有少量的粉尘，但在有些工艺废气中粉尘含量会很高，在喷涂废气中则含有大量的漆雾。颗粒物等通常以气溶胶的状态存在。吸附系统对粉尘、漆雾和气溶胶非常敏感，会严重影响吸附系统的稳定运行。因此，在废气进入吸附器之前必须将粉尘、漆雾处理干净，并对气溶胶进行破坏。

目前在我国的一些吸附法净化设备中，由于对废气的前处理重视不够或者预处理设备使用不当，吸附器的效率很低，有些无法长时间使用。废气预处理工艺主要有干法机械过滤和湿法喷淋吸收两种工艺，也可以采用干法和湿法结合的组合工艺。

在喷涂、制药、精细化工、化纤生产等很多工艺所产生的混合废气中，往往含有一些高沸点的大分子化合物，如电器喷涂废气中的二甲基戊酮(沸点164℃)，被吸附树脂吸附后难以脱附而造成吸附树脂中毒。这些物质虽然含量不高，但被吸附后难以解吸从而在吸附剂中积累，吸附树脂很快就会中毒失效。高沸点的大分子有机化合物在生产前端通过强化冷凝或采用活性碳/树脂的预吸附装置去除。一般预处理装置的压力损失不会超过1kPa，但采用布袋除尘器过滤时，压力损失会超过1kPa。